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SAW滤波器介绍:SAW滤波器的工艺制造流程

時間:2024-04-03 01:19:55     作者:客戶案例     瀏覽量:21 次

  c Wave,也就是表面声波,它是一种高频声波,能够以极快的速度在晶体中传播,且传播距离较长。SAW滤波器利用了SAW的这些特性,实现了对电信号的滤波和选择性放大。

  SAW滤波器的滤波原理基于声学滤波,其基本构成是一个带有SAW器件的电路,在SAW器件上利用电极产生输入信号,经过SAW器件的传输,输出信号能够被捕捉到另一侧的电极。SAW滤波器的频率特性主要由SAW器件的表面结构和声波传播距离及传播模式等因素所决定,因此SAW滤波器能够实现高端的信号选择特性。

  SAW滤波器的主要作用是抑制干扰信号,起到滤波的作用。它利用声波在固体表面传播的特性,将电信号转换为声波信号,并通过设定合适的谐振频率和带宽,将特定频率的声波信号从混合信号中分离出来,以实现对特定频段的信号进行滤波,抑制不需要的干扰信号,提高通信系统的信噪比和抗干扰能力。SAW滤波器在无线通信、雷达、电视、音频等领域都有广泛应用。

  一种新型SAW滤波器的工艺制造流程,通过在晶圆层上表面的粘合层上采用不同的金属材质形成不同厚度的刻蚀线路件,能够有利于形成可控的良好的电路侧壁形貌,避免因同一材质而产生的对较薄层刻蚀线路件的过度刻蚀,从而提高SAW滤波器产品良率和产量。

  SAW滤波器和BAW滤波器都属于表面波滤波器,它们在特性和应用上存在显著差异。

  SAW滤波器是利用声波沿着固体表面传播的特性制作的滤波器,常用的压电材料有LiTaO3、LiNbO3和SiO2等。一个基本的SAW滤波器由压电材料和两个IDT(InterDigital Transducer,叉指换能器)组成,IDT的核心作用是能量转换,在输入端把接收的电信号转变成声波,在输出端把接收的声波转变成电信号。SAW滤波器的优点是插入损耗较小、温度稳定性好、抗电磁干扰性能优异、尺寸小,因此在移动通信领域应用广泛。

  BAW滤波器则使声波在“体”内进行垂直传播。常用的压电材料有AlN、PZT和ZnO等。BAW滤波器的优点是插入损耗低、通带带宽和阻带抑制带宽都可以做得很窄,因此特别适合用于高频率的通信系统。

  此外,在市场上,日本的村田制作所(Murata)、TDK和太阳诱电(TaiyoYuden)占据了SAW滤波器市场80%以上的份额,而BAW滤波器的市场则主要由美国的主导。

  是在压电基片材料表面产生并传播,且振幅随着深入基片材料的深度增加而迅速减少的一种弹性波

  基本理论 /

  技术,它的原理及技术特点是什么 /

  匹配的目的和方法 /

  许多接收器应用,特别是对于那些汽车无钥匙进入系统,要求具有良好的灵敏度,并在接收器输入端使用

  ,以减少来自汽车内部和外部的干扰的可能性。如果在天线和IC输入之间添加了

  的接收器设计 /

  是表面声波器件的英文缩写,它是一种利用表面声波(Surface Acoustic Wave)原理的电子器件。

  器件可以将电信号转换为表面声波,使其在表面传播,并通过反向转换将其转换回电信号。

  (Surface Acoustic Wave Filter)是一种用于电信号处理的

  结构示意图 /

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